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在处理含氟的有机废气时，一般采用吸收净化法和吸附净化法，这里我们主要介绍一下吸收净化法。
在我国很多工业生产的过程中，对含氟废气净化治理时，都会采用封闭循环水吸收和碱液吸收工艺。处理过程为：吸收器出来的尾气经旋风除沫，然后在进入洗涤塔，进入洗涤塔后，用污水循环泵将吸收液循环，用于进一步吸收。尾气净化后，再经过除沫器，由风机送入尾气烟囱进行排空。在此过程中，由洗涤塔出来的含氟污水，会有一部分经循环泵进行自身循环，还有一部分会用泵送入旋风除沫器，进入除沫器的一部分含氟污水，在除沫器内会进行气液接触吸收。
曾有研究报道指出，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。氟化氢很容易溶于水，从而形成氢氟酸，氢氟酸又能和许多碱性物质发生反应，从而形成氟化盐。四氟化硅也很容易溶于水，从而形成氟硅酸和硅胶。
所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的氟化氢和四氟化硅。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、烧碱溶液作为吸收剂，且脱氰效果较好，同时还能把含氟废气中的有害物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。
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